接下来磷扩散进入硅中，同时Ｃｌ２被排出。在扩磷的工艺过程中，其实是先通过液态源（ＰＯＣｌ３）反应生成待扩散的磷，然后再进行磷的扩散。
如果Ｏ２的量不足，就会存在产物ＰＣｌ５，ＰＣｌ５的存在会对硅片产生有害影响。所以实际生产中一般会用过量的Ｏ２来降低ＰＣｌ５的影响，这也是反应（４．１１）注明Ｏ２要过量的原因。
扩散工艺最早使用的是封管扩散，又称闭管扩散（如图４．３ａ）。这是把杂质源和硅片一起封入一个具有一定真空度的石英管中加热，使杂质元素扩散到硅中去。箱法扩散，又称半开管扩散（如图４．３ｂ），是封管扩散的改进，采用一个石英或硅制成的带盖子的箱子，扩散时把硅片和杂质源一起放入箱内，盖上盖子送入扩散炉管中，炉管内的惰性气体起保护作用。封管扩散和箱法扩散所用的杂质源，都是易挥发的固态源，如元素镓和化合物ＢＯ、ＳｂＯ等，硅片并不与杂质源接触，只是暴露在杂质源形成的气氛中。如果杂质源是气体或液体（如ＰＯＣｌ３），则可用运载气体直接把气体或蒸气引入石英管内，通过气相杂质与硅表面反应而向硅片内扩散相应杂质（如图４．３ｃ）。这时往往使用通气的开放性石英管，常称开管扩散。
但是，关于扩散工艺或扩散装置的分类已经有些改变，目前一般根据尾气的排出方式，分为闭管扩散和开管扩散两种：从一端供气从另一端排出尾气的为开管扩散，其他的为闭管扩散。
以下以一种太阳电池用扩散炉的结构与操作工艺为例进行说明。该扩散炉的大口径加热炉体选用高品质炉丝以及耐高温保温材料，炉体常规使用的寿命长，保温性能好。温控部分选用带有自整定ＰＩＤ调节系统、０．１级精度及具有多项保护功能的温控仪，因而控温精度高，温度稳定性高，升、降温响应速度快，同时可与计算机通讯实现升降温速率自动控制；送片系统采用丝杠、导轨副配以悬臂式推拉舟机构，可确保进出舟运行平稳，同时能有效地防止因摩擦而产生的粉尘污染。具有完善的安全保护的方法，配备了超温、断偶、短路等报警装置。整机由计算机控制，各部分软、硬件连锁，工艺参数的设置及运行均可在触摸屏上直接进行，自动化程度高、操作简单便捷、可靠性高。
扩散炉分为４大部分，总体结构见图４．４所示，从右到左为：控制部分、推舟净化部分、电阻加热炉部分、气源部分。外观尺寸（长×宽×高）约为６．８ｍ×２．１ｍ×３．０ｍ，总重量约为２０００ｋｇ。该扩散炉的炉体主体部分分为上、中、下三层，各装有一根石英管，三管可一起进行工作。
整个控制柜有３层控制面板和１块前下面板，计算机控制部分分上层、中层、下层３个独立部分，分布对应扩散炉的上、中、下三管，控制其中的推舟、炉温及气源部分，是扩散炉的控制中心。
在每层的前面板上，左侧有１５英寸触摸显示器，右侧有报警器、状态指示灯、控制开关以及急停开关等。在控制柜后面板上安装有２个ＲＫＣ－ＣＨ４０２控温温控器和１个
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